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真空回流焊ATVPEO-604

真空回流焊ATV图片


真空回流焊ATVPEO-604技术数据PEO-604

  • 足迹:1,780 x 834 x 2,345毫米(长x宽x高)
  • 内石英管: 230毫米(9“)
  • 重量: 475公斤
  • 标准产品温度:  连续1000°C / 1,100°C
  • 平坦区域:    50个晶圆/ 100个晶圆帮助投球
  • 电源连接:  3Phases,230 / 400V,32 / 63A,21/42 kW

真空回流焊ATVPEO-604优点

  • 占地面积小,占地面积小
  • 在环境待机时通过零能耗实现节能
  • 最大100个晶圆/工艺运行
  • 高达200mm的Ø晶圆
  • 通过易于更换的石英In Liners的多个过程
  • 温度上升:
  • 在15分钟内高达1,000°C
  • 不到60分钟即可降至<100°C
  • 每100分钟1K(上升/下降速度最慢)
  • 最高1,100°C连续加工
  • 温度范围250°C至1,100°C  
  • 采用气体预热的低温处理
  • 极限真空<5 x 10-6 mbar
  • 泄漏率:<5 x 10-9 mbar l / s
  • O2 = N2供应质量
  • 100个步骤/程序
  • 技术数据PEO-604
  • 足迹:1,780 x 834 x 2,345毫米(长x宽x高)
  • 内石英管: 230毫米(9“)
  • 重量: 475公斤
  • 标准产品温度:  连续1000°C / 1,100°C
  • 平坦区域:    50个晶圆/ 100个晶圆帮助投球
  • 电源连接:  3Phases,230 / 400V,32 / 63A,21/42 kW.

真空回流焊接图

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